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BESTACE 9系列气体质量流量计/控制器
点击次数:315发布时间:2011/7/20 16:26:21
更新日期:2022/9/23 14:24:52
所 在 地:美洲
产品型号:9系列
相关标签:气体质量流量计
优质供应
详细内容
技术参数:
量程:流量计5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材质:接液部位:316L不锈钢;外壳:17-4不锈钢
阀座及阀芯:17-4不锈钢
密封材质:标配为氟橡胶(Viton)
可选丁纳橡胶Buna,全氟醚橡胶KalRez
泄漏率:不超过1×10 毫升/秒,氦气
环境温度及介质温度:0-60℃
精度:1%FS(包括线性精度)
量程比:100:1
响应时间:500ms
重复性:优于0.15%FS
压力极限:1000PSIG
压降:流量计:250Pa
控制器:7-14KPa(500SCCM以下)
控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM)
电源:24VDC@250mA(流量计)24VDC@350mA(控制器)
输出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入电源)
设定点信号:内置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳线)
电气连接:9针D接口(9 Pin Sub D)
温度影响系数:优于0.05%FS/℃
压力影响系数:优于0.01%FS/PSI
标准温度:21℃
标准压力:760Torr
重量:流量计:440g 控制器:460g