便携式四探针电阻率测试仪  便携式四探针电阻率检测仪     

型号:DL04-KDY-1A

概述

便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。

本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。

它主要由电器测量部份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。

为减小体积，本仪器用同块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分先材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω•cm标准样片的测量瓿差不超过±3%，在此范围内达到国家标准级机的水平。

测量范围：

可测量 电阻率：0.01～199.9Ω•cm。

可测方块电阻：0.1～1999Ω/口

当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。

（2）恒流源：

输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档

10mA量程：0.1～1mA 连续可调

10mA量程：1mA ～10mA连续可调

恒流精度：各档均优于±0.1%

适合测量各种厚度的硅片

（3） 直流数字电压表

测量范围：0～199.9mv

灵敏度：100μv

准确度：0.2%（±2个字）

（4） 供电电源：

AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W

（5） 使用环境：

相对湿度≤80%

（6） 重量、体积

重量：2.2 公斤

体积：宽210×高100×深240（mm）

（7）KD探针头

压痕直径：30/50μm

间距：1.00mm

探针合力：8±1N

针材：TC