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主要特点：
>曲面离子刻蚀母版光栅
>波长涵盖9.5nm-160nm
>40mm大焦平面尺寸
>快速获取光谱
| 不同光栅主要参数 | |||||
| 入射出射角度 | 刻线密度G/mm | 分辨率（nm） | 焦平面尺寸 | 光谱范围 | 能量范围 |
| 140 | 2105 | 0.05 | 40mm | 9.5-32nm | 130-39eV |
| 140 | 450 | ~0.10 | 40mm | 10-110nm | 124-11eV |
| 140 | 290 | 0.16 | 40mm | 15.5-170nm | 80-7eV |
