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225－－高分辨正入射真空光谱仪
主要特点：
>15度正入射光路结构
>*小像差及偏振
>通量密度
>凹面自聚焦光栅，尤其适合CCD、MCP等阵列探测器
>洁净不锈钢结构，高真空度
>分辨率可达0.005nm
>如需更高分辨率另有2m、3m、5m、6.6m焦距可选
| 主要技术参数 | |
| 波长范围 | <30nm-300nm* |
| 光学结构 | 正入射 |
| 真空度支持 | 10-6Torr,或10－10Torr |
| 焦距长度 | 1 m |
| 分辨率，半高宽 | 0.01nm* |
| 色散 | 0.83nm每毫米* |
| 校准精度 | 0.1nm* |
| 重复性 | 0.005nm* |
| 步距 | 0.0002nm* |
| 焦平面尺寸 | 25mm |
| 数值孔径 | f/10.4 |
| 光栅尺寸 | 56*96mm |
| 充氮气 | 可选 |
| 可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
| 狭缝 | 10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
| 不同光栅主要参数 | ||||||||
| 光栅密度（g/mm） | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 150 | 75 |
| 分辨率** | 0.005 | 0.008 | 0.01 | 0.015 | 0.03 | 0.06 | 0.12 | 0.24 |
| 色散（nm/mm） | 0.28 | 0.42 | 0.56 | 0.83 | 1.66 | 3.32 | 6.6 | 13.3 |
| 波长范围30nm至 | 100nm | 150nm | 200nm | 300nm | 600nm | 1.2um | 2.4um | 4.8um |
**分辨率测试条件：10um狭缝宽度，2mm狭缝宽度，313.1nm
| 其他可选焦距正入射谱仪 | |||
| 焦距长度（m） | 2 | 3 | 5 |
| 波长覆盖范围 | 300nm | 300nm | 300nm |
| 分辨率（nm）@313.1nm | 0.007 | 0.005 | 0.003 |
| 色散（nm/mm） | 0.42 | 0.28 | 0.17 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
