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251MX－－像差校正平场光谱仪
主要特点：
>像差校正光栅
>为MCP及CCD等阵列探测器设计
>快速获取光谱
>真空下切换光栅以及对探测器位置进行调节
>超高真空支持
| 主要技术参数 | |
| 焦平面吃醋 | 1nm-20nm |
| 入射角度 | 87度 |
| 真空度支持 | 10-6Torr,或10－9Torr |
| 探测器位置 | 可调节，可旋转 |
| 焦平面尺寸 | 25mm |
| 光栅位置 | 2块光栅，可在真空下切换 |
| 可选探测器 | CCD、MCP等阵列探测器 |
| 狭缝 | 10um-3mm可在真空下调节 |
| 不同光栅主要参数 | ||||||
| 型号 | 入射出射角度 | 刻线密度G/mm | 分辨率（nm） | 焦平面尺寸 | 光谱范围 | 能量范围 |
| HEG | 172 | 2400 | ~0.01 | 20mm | 1-5nm | 1240-248eV |
| LEG | 167 | 1200 | ~0.028 | 25mm | 5-20nm | 248-62eV |
