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234/302 200mm焦距真空紫外光谱仪
主要特点：
>像差校正光学系统
>紫外光谱CCD或MCP阵列探测器
>超高真空支持
>紧凑、坚固、低重量、低价格
| 主要技术参数 | |
| 波长范围 | <30nm-550nm* |
| 光学结构 | Seya-Namioka |
| 真空度支持 | 10-6Torr，或10-10Torr（UHV选项） |
| 焦距长度 | 200mm |
| 分辨率，半高宽 | 0.1nm* |
| 色散 | 4nm每毫米 |
| 校准精度 | 0.1nm |
| 重复性 | 0.05nm |
| 步距 | 0.00005nm |
| 焦平面尺寸 | 25mm |
| 数值孔径 | f/4.5 |
| 光栅尺寸 | 40*45mm凹面全息光栅 |
| 杂散光抑制比 | 10-5 |
| 充氮气 | 可选 |
| 可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
| 狭缝 | 10um-3mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
| 不同光栅主要参数 | ||||
| 光栅密度（g/mm） | 2400 | 1200 | 600 | 300 |
| 分辨率** | 0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.4 |
| 色散（nm/mm） | 2 | 4 | 8 | 16 |
| 波长范围 | 30-225nm | 30-550nm | 30-1100nm | 30nm-2.2um |
**分辨率测试条件：10um狭缝@184.9nm
