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248/310G－－掠入射软X射线谱仪
主要特点：
>波长覆盖范围：<1nm-310nm
>分辨率可达0.006nm
>+/-4um高精度罗兰圆结构
>支持单点扫描或阵列探测器（可更换）
>带有隔离阀的高精度狭缝
>多种掠入射光栅可选，入射角度可调
| 主要技术参数 | |
| 波长范围 | <1nm-310nm 取决于光栅 |
| 光学结构 | 掠入射，入射出射角度88-84度 |
| 真空度支持 | 10-6Torr,或10－9Torr |
| 焦距长度 | 1 m |
| 分辨率，半高宽 | 0.018nm* |
| 色散 | 0.05-0.27nm每毫米* |
| 焦平面尺寸 | 40mm |
| 数值孔径 | f/44 |
| 光栅尺寸 | 25*20mm |
| 可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
| 狭缝 | 10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
| 不同光栅主要参数 | ||||||||
| 光栅密度（g/mm） | 2400 | 2160 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 133.6 | 75 |
| 分辨率** | 0.009 | 0.01 | 0.012 | 0.018 | 0.036 | 0.072 | 0.16 | 0.24 |
| 色散（nm/mm） | 0.03-0.15 | 0.03-0.16 | 0.04-0.18 | 0.05-0.27 | 0.08-0.34 | 0.16-0.7 | 0.4-1.6 | 13.3 |
| 波长范围1nm至 | 17nm | 19nm | 23nm | 35nm | 70nm | 140um | 310nm | 4.8um |
