臭氧为氧的同素异性体，化学性质活泼，常温下自行分解为初生态的氧，是一种强氧化剂，其氧化能力仅次于氟，即使在低浓度下也可瞬时完成氧化作用，反应后没有性残余物。臭氧作为氧化剂和消毒杀菌剂，广泛地应用到石油、化工、经纺、造纸、医药等行业的给水消毒、废水处理及空气净化。作为消毒剂可以杀死细菌、去病毒、除嗅味、可以把水中的酚、硫、油、磷芳香烃一些难于生物氧化降解的有机物分解，还可以使铁、锰离子氧化而生成易沉淀的固体，所以臭氧发生器是当代给水净化和污水处理中的重要设备。此外，臭氧还可应用于食品保鲜、自来水、矿泉水、饮料用水、游泳池的水、医院污水杀菌消毒、除臭、除味：中央空调循环杀菌,空气净化、消毒,用于制药、生物工程、医院、医疗器械、卫生用品、食品加工、遗传工程等工具有HVAC统的行业，可对HV AC系统控制的每个洁净室进行消毒灭菌。