Cressington 电镜专用离子镀膜机，适合用于电子显微镜用户获得不导电样品高分辨效果。自动清洁和自动泄真空功能再加上可选高分辨膜层控制器便可达到理想的一致均匀镀层效果。本系统通过一个非常精密有效的低压直流磁控管头可实现精密溅射。人性化设计可实现快速更换不同靶材。

样品室： 120mm 直径 × 120mm 高

溅射头： 低压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

靶材： 标准金靶，直径57mm, 厚度0.1mm 可选靶材：金/钯（Pd）, 铂

溅射控制： 微处理器控制，安全联锁技术，电流控制独立真空，电流数字化控制（10,20,30或40mA）

样品台： 可装载12个SEM样品做，高度可调范围为60mm

模拟计量：真空值 Atum-0.001mbar 电流值 0-50mA

控制方法：自动气体净化和泄气功能，自动处理排序，“暂停”控制的数字定时器（5-300秒），自动排气

膜厚监测：可选，MTM-10高分辨膜厚监测仪
膜厚控制：可选，MTM-20高分辨膜厚控制仪带自动终止溅射功能