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| 測量範圍 | （ 0 ～ 18 ） mm |
| 示值準確度 | （ 200±5 ） mm2 |
| 上下測量面平行度誤差 | ≦ 0.002mm |
| 示值準確度 | 示值誤差± 0.0025mm 或 ±0.5% 示值誤差 σ0.05mm ，示值變動性 ≦0.05mm |
| 測量接觸面積 | （ 1000±20 ） mm2 |
| 測量接觸壓力 | （ 20±0.5 ） kPa |
| 兩測量面間平行度 | ≦ 0.035mm |
| 測頭下降速度 | ≦ 3mm ／ s |
| 測量頻率 | 4 次／分 |
| 外型尺寸（長×寬×高） | 263mm×224mm×420mm |
