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管式炉PECVD系统供应_安徽单温区PECVD系统报价
点击次数：44发布时间：2016/6/27 16:07:35
更新日期：2016/11/22 8:42:13
所 在 地：中国大陆
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为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
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