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秦皇岛维克托国际贸易有限公司 主营产品:欧洲,美国等的阀门,过滤设备,编码器,传感器,仪器仪表,及各种自动化产品

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YAMATO气体等离子体刻蚀机 yyn

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号: 原产地:美洲 发布时间:2022/1/27 17:20:58更新时间:2024/2/27 8:33:18

产品摘要:YAMATO气体等离子体刻蚀机YAMATO气体等离子体刻蚀机PR500/510PR500 / 510是广泛用于这种应用,生产半导体和分析工作的气体等离子体装置。它拥有出色的可操作性和安全性,具有自动调谐系统作为标准组件及其他功能。

产品完善度: 访问次数:234

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手机网站:http://m.yituig.com/c96758/

商铺地址:http://www.wktmro.com

详细内容

 YAMATO气体等离子体刻蚀机
产品特点
YAMATO气体等离子体刻蚀机PR500/510
PR500 / 510是广泛用于这种应用,生产半导体和分析工作的气体等离子体装置。它拥有出色的可操作性和安全性,具有自动调谐系统作为标准组件及其他功能。

性能特点
YAMATO气体等离子体刻蚀机特点:
• 它具有一个紧凑的设计,具有小尺寸的高频发生器和一个振荡部分集成在一起的腔室的一部分。
• 随着直径215毫米大口径室,单位可以处理大的测试样品。
产品简介

参数规格
产品规格
模型 PR500 PR510
桶型直等离子
控制部分
高频输出 max 500W
振荡频率 13.56 MHz
输出阻抗 50Ω
调整方法 自动调谐
仪器 输出功率表(0〜600W)
反射波功率表(0〜300W)
真空压力表,热电偶式
流量计,针型阀集成型,2台
定时器 0.1。到999H
进气口 1/4“不锈钢,2入口
电源(50 / 60Hz) AC 100 / 220V,单相,2千伏安
反应部分
反应室 石英制成的,φ215×305毫米
电结构 聚光型,四分割
控制系统 自动减压,自动阀泄漏 触摸屏与PLC控制
配管材料 SUS,铁弗龙
外形尺寸(W×D×嗯) 438×520×760 520×630×760
重量 约38千克 约60公斤
YAMATO气体等离子体刻蚀机标准配件
连接电缆:1配套
真空润滑脂:1件 
O形圈的反应室:1件。
YAMATO气体等离子体刻蚀机可选配件
帧的晶片,2,3,4,5,6英寸
多用途倾斜的框架
铝蚀刻隧道,架

使用方法
YAMATO灭菌器SG400/600/800/810
SG400/600 安全灭菌与个别的过热预防功能。
自然对流换热类型: SG400 & 600。
强迫的对流式: SG800/810。

YAMATO灭菌器型号:400 600 800/810
工作温度范围 室温。+ 10deg。C 至 260 ℃。C (到 210deg。C 为 800/810)
Temp分布精度 ±20deg。C (at260deg。C) ±7deg。C(at210deg。C 为 800/810)
内部能力 99 L 162 L 294 L

YAMATO灭菌器SG400/600/800/810产品特点:
可编程 16 段和保证通过 Wait 函数的处理时间。
满载卓越的安全功能,如自诊断功能和个别的过热预防功能。
可堆叠的"可堆叠的支持 (选项)
如外部的通讯功能,外部报警终端,Temp 的变量选项。输出终端,等等。
注意事项


YAMATO灭菌器SG400/600/800/810规格

Model SG400 SG600 SG800 / 810
Performance
Circulation method Natural Convection Forced Convection
Operating temperature range Room temp.+10 to 260deg.C Room temp.+10 to 210deg.C
Temp. control accuracy 
Temp. distribution accuracy
±2.0deg.C(at 260deg.C)
±20deg.C(at 210deg.C)
±1.0deg.C(at 210deg.C)
±7.0deg.C(at 210deg.C)
Max. temp. reaching time Approx. 75 min. Approx. 60 min.
 
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