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- 测量参数：Ra、Rz
- 取样长度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三挡可选
- 评定长度中含有5个取样长度(5L)
- 测量范围Ra：0.025-12.5(µm)
- 量程范围：160μm
- 触针角度：90°
- 导头纵向半径：45mm
- 针尖材料：金刚石
- 针尖半径：5μm±1μm
- 触针测力：4mN(0.4gf)
- 驱动行程：18mm/0.71inch
- 驱动速度
测量时： 当取样长度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
当取样长度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
当取样长度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回时： V=1mm/s - 示值误差不大于±10%
- 示值变动性不大于6%
| 15 测量范围 | 分辨力 |
| ±20μm | 0.01μm |
| ±40μm | 0.02μm |
| ±80μm | 0.04μm |
