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江苏海龙水下工程有限公司

江苏海龙水下工程有限公司成立于2009年，具有独立的法人资格，下设多个施工工程队，专业潜水员38人，技术人员25人，潜水监督员2人，潜水工程师2人，潜水医学技士。是中国潜水打捞行业协会会员，具有潜水作

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标题腾旋半导体行业用多通路旋转接头抛光机减薄设备用机械密封

发布时间：2024/5/29 来源: 江苏腾旋科技股份有限公司阅读次数：103

腾旋公司的半导体行业用旋转接头又叫水/气滑环接头，在半导体工业、化学机械抛光机CMP、晶圆等制造域广泛应用；用于输送研磨液、水、冷却液、研磨残渣液、压缩空气等流体。采用特种材质的机械密封方案，具有密封性好、寿命长、扭矩低、发热量低、耐粉尘残渣等特点，确保客户主机可靠性高，减少检修频次。

半导体行业M系列旋转接头

两通路旋转接头

型号：ML02R008F

参数：

转速：250rpm

介质：水，0.5MPa

扭矩：＜2N·m

温升：30℃

流量：暂定

8通路旋转接头

型号：ML08R003F

参数：

转速：200rpm

介质：真空，0.5bar

氮气，1.4bar

空气，1.4bar

扭矩：＜3N·m

温升：30℃

泄漏量：＜1KPa/min

1999年腾旋从无到有，2009开始不断提升制造能力，拥有了400多台全球先进的加工设备，2019年开始大幅度提高试验测试能力，目己拥有30多台测试设备，我们一直在路上。

更多半导体行业用旋转接头定制，欢迎来电咨询：

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