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纯度Purity≥,% | 杂质含量:Impurities(≤,ppm) | |||||||
99.999 | H2 | O2 | Ne | N2 | CO | CO2 | CH4 | H2O |
0.5 | 1.0 | 2.0 | 1.0 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 4.0 | |
99.995 | Ne | CO | H2 | CO2 | O2+Ar | CH4 | N2 | H2O |
1.0 | 1.0 | 3.0 | 1.0 | 3.0 | 1.0 | 10.0 | 10.0 |
纯度Purity≥,% | 杂质含量:Impurities(≤,ppm) | ||||||
99.999 | N2 | He | O2 | CO | CO2 | THC | H2O |
3.0 | 10.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | |
99.99 | N2 | CO2 | CH4 | | | | |
100 | 1 | 1 | | | | |
纯度Purity≥,% | 杂质含量:Impurities(≤,ppm) | |||||||
99.997 | He | H2 | O2 | N2 | CO | CO2 | CH4 | H2O |
3.0 | , 2.0 | 2.0 | 5.0 | 1.0 | 0.5 | 5.0 | 1.0 | |
99.99 | Xe | H2 | O2+Ar | N2 | CO | CO2 | CH4 | H2O |
5.0 | 2.0 | 5.0 | 15.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 3.0 |
纯度Purity≥,% | 杂质含量:Impurities(≤,ppm) | |||||||
99.995 | N2 | Ar | CO | CO2 | THC | H2O | N2O | H2+Ne |
25.0 | 5.0 | 1.0 | 5.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 5.0 | |
99.99 | CO | CO2 | CH4 | H2O | N2O | | | |
1.0 | 1.0 | 5.0 | 5.0 | 1.0 | | | | |
99.95 | CO | CO2 | CH4 | H2O | N2O | | | |
5.0 | 5.0 | 5.0 | 5.0 | 5.0 | |
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