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特种气体

价格：电议
型号：
生产地：中国大陆
访问：296次
发布日期：2011/9/15(更新日期：2012/1/13)

南京皓而普分析设备有限公司

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特种气体硅烷(SiH4)Silane纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities ( ≤,ppm )99.9999N2H2O2+ArCOCO2CH4H2OC2H6+C3H8SiH3Cl电阻率1.0020.00.050.050.050.050.500.100.15>1000Ωcm99.999N2HeH2COCO2CH4H2OO2+Ar电阻率551000.500.500.5021>1000Ωcm磷烷(PH3)Phosphine纯度Purity≥,%杂质含量：Impurities ( ≤,ppm )99.9999N2O2

详细内容
公司简介

特种气体

硅烷（SiH₄）Silane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	N₂	H₂	O₂+Ar	CO	CO₂	CH₄	H₂O	C₂H₆+C₃H₈	SiH₃Cl	电阻率
99.9999	1.00	20.0	0.05	0.05	0.05	0.05	0.50	0.10	0.15	&gt1000Ωcm
99.999	N₂	He	H₂	CO	CO₂	CH₄	H₂O	O₂+Ar	电阻率
99.999	5	5	100	0.50	0.50	0.50	2	1	&gt1000Ωcm

磷烷（PH₃）Phosphine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	N₂	O₂	CO	CO₂	AsH₃	H₂O	总烃
99.9999	0.3	0.1	0.05	0.1	0.2	0.1	0.1

申烷（AsH₃）Arsine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9999	Ar	N₂	O₂	CO	CO₂	CH₄	H₂O	GeH₄	C₂H₆	C₃H₈	PH₃	SiH₄
99.9999	0.1	0.1	0.1	0.05	0.1	0.1	0.05	0.1	0.1	0.1	0.2	0.1

锗烷（GeH₄）Germane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	THC	H₂O
99.99	5.0	1.0	1.0	5.0

乙硼烷（B₂H₆）Diborane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	O₂	CO₂	H₂O	CH₄	CH₃Cl
99.995	3.0	3.0	3.0	5.0	10.0
99.95	5.0	10.0	5.0	100.0	100.0

氨（NH₃）Ammonia

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	O₂+Ar	CO₂	H₂O	CH₄	CO	H₂
99.99	100.0	100.0	200.0	50.0	50.0	100.0

一氧化碳（CO）Carbon Monoxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N₂	H₂	O₂	CO₂	H₂O
99.9	150.0	50.0	50.0	50.0	10.0

氧化亚氮（N₂O）Nitrous Oxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	O₂+Ar	N₂	CO₂	CH₄	H₂O	NO	NO₂	NH₃
99.995	0.5	2.0	1.0	0.5	1.0	1.0	1.0	1.0

一氧化氮（NO）Nitric Oxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N₂	N₂O	NO₂	CO₂	THC
99.9	500.0	100.0	50.0	100.0	10.0

二氧化硫（SO₂）Sulfur Dioxide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	残渣	酸度	H₂O
99.9	40.0	20.0	40.0

羰基硫（COS）Carbonyl Oxysulfide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.98	残渣	酸度	H₂O
99.98	40.0	20.0	40.0

硫化氢（H₂S）Hydrogen Sulfide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	Air	THC	CO₂	H₂O
99.9	50.0	10.0	30.0	10.0

碳氢化合物Hydrocarbon

分子式	名称	纯度（≥）	分子式	名称	纯度（≥）
C₂H₂	乙炔	99.90%	C₄H₈	异丁烯	99.5-99.9%
CH₄	甲烷	99.9-99.995%	C₄H₈	顺丁烯	99-99.9%
C₂H₆	乙烷	99.90%	C₄H₈	反丁烯	99-99.9%
C₃H₄	甲基乙炔	99.00%	C₅H₁₂	正戊烷	99.50%
C₄H₆	乙基乙炔	99.00%	C₅H₁₂	异戊烷	99.50%
C₂H₄	乙烯	99.90%	C₄H₆	1,2-丁二烯	99.50%
C₄H₁₀	异丁烷	99.50%	C₄H₆	1,3-丁二烯	99.90%
C₃H₈	丙烷	99-99.9%	C₅H₁₀	正戊烯	99.50%
C₃H₆	环丙烷	99.50%	C₆H₁₂	己烯	99.50%
C₃H₆	丙烯	99.90%	C₆H₁₂	环己烷	99.50%
C₃H₄	丙二烯	99.00%	C₂H₆O	甲醚	99.90%
C₄H₈	正丁烯	99.90%	C₂H₄O	环氧乙烷	99.90%

氟化物

氟气（F₂） Fluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,% ）
99.0	O₂+N₂	CF₄	HF
99.0	0.45	0.05	0.50

氟化氢（HF）Hydrogen Fluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	H₂O	Cl₂	H₂SiF₆	SO₄－－	HPO₄－－	Metals
99.9	25.0	5.0	100.0	5.0	12.2	5.0

三氟化氮（NF₃）Nitrogen Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N₂	N₂O	O₂+Ar	CO	CO₂	H₂O	CF₄	SF₆	总F
99.9	50.0	10.0	50.0	10.0	10.0	1.0	700	50.0	0.3

,三氟化磷（PF₃） Phosphorus Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	O₂	N₂	HF
99.9	20.0	75.0	5.0

三氟化硼（BF₃）Boron Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	CO	CO₂	SO₂	SiF₄	MS
99.99	15.0	5.0	2.0	20.0	20.0	20.0	8.0

三氟甲烷（CHF₃）Freon-23

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.995	Air	H₂O	CO₂	CH₄	HF	其它碳氟
99.995	15.0	4.0	2.0	1.0	1.0	10.0

四氟化碳（CF₄）Carbon Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N₂	O₂	CO	H₂O	其它碳氟
99.999	2.0	1.0	1.0	1.0	5.0

四氟化硅（SiF₄）Silicon Trifluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	CO	CO₂	CH₄	HF	PF₅	BF₆
99.99	3.0	1.0	0.5	1.0	10.0	50.0	0.5	1.0

五氟化磷（PF₅）Phoshorus Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	H₂	O₂	H₂O	其它
99.99	50.0	5.0	20.0	5.0	30.0

五氟化砷（AsF₅）Arsenic Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	N₂	H₂	O₂	H₂O	其它
99.9	50.0	10.0	20.0	3.0	30.0

五氟化溴（BrF₅）Bromine Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	H₂O	其它
99.99	0.1	0.1	10.0	0.1

五氟化碘（IF₅）Iodine Pentafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	H₂O	其它
99.99	0.1	0.1	10.0	0.1

六氟乙烷（C₂F₆）Hexafluoroethane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	O₂	CO	CO₂	H₂O
99.99	60.0	15.0	2.0	2.0	5.0

六氟化硫（SF₆）Sulfur Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	H₂	H₂O	CF₄	其它
99.99	24.0	6.0	5.0	20.0	5.0

六氟化钨（WF₆）Tungsten Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）							杂质含量：Impurities （ ≤,ppb ）
99.98	N₂	CO+CO₂	CF₄	HF	SiF₄	SF₆	O₂+Ar	Fe	Cr	Na	K	U	Th
99.98	10	1.0	1.0	10	0.5	0.5	1	10	10	10	20	0.05	0.1

六氟化钼（MoF₆）Molybdenum Hexafluoride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.7	N₂	H₂	H₂O	其它
99.7	0.1%	0.1%	10ppm	0.1%

八氟丙烷（C₃F₈）Octafiuoropropane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.9	O₂	H₂O	酸度	其它
99.9	3.0	3.0	2.0	2.0

八氟环丁烷（C₄F₈）Perfiuorocyciobutane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	N₂	H₂	H₂O	其它
99.99	4.0	6.0	5.0	5.0

氯化物

氯气（Cl2）Chlorine

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N₂	O₂	H₂	CO	CO₂	H₂O
99.999	2.0	2.0	0.1	1.0	0.1	2.0

氯化氢（HCl）Hydrogen Chloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N₂	O₂+Ar	CO₂	THC	H₂O
99.999	4.0	1.0	3.0	1.0	1.0

三氯化硼（BCl₃）Boron Trichloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	N₂	O₂	CH₄	CO	COCl₂	HCl	Cl₂	Al	Ca	Cu	Fe	Si	Na
99.999	4.0	1.0	0.5	0.5	0.5	1.0	0.3	0.1	0.02	0.01	0.3	1.0	0.1

二氯二氢硅（SiH₂Cl₂）Dichlorosilane

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	H₂O	THC	其它氯硅烷
99.999	1.0	1.0	0.1%

四氯化硅（SiCl₄）Silicon Tetrachloride

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.99	HCl,	SiHCl₃		SiH₂Cl₂		SiH₃Cl		Si-OH		Si-OH（THC）		ppm
	35.0	5.0		2.0		2.0		5.0		5.0
	Al	Co	Cr	Cu	Fe	Mn	Mo	Ni	Ti	V	Zn	ppb
	10.0	1.0	1.0	1.0	10.0	1.0	7.0	2.0	1.0	2.0	3.0

溴化物

溴化氢（HBr）Hydrogen Bromide

纯度Purity≥,%	杂质含量：Impurities （ ≤,ppm ）
99.999	H₂O	CO₂	Air	HCl
99.999	50.0	20.0	0.4	1500

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