氧氮气流量计|质量流量计|小气体流量计|流量传感器

型号:FS  品牌 迪川仪表
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器|微小型气体流量计
FS列是采用先的美国微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技

术，为普通气体流量监测开发的产品。
该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量，还可

用于环保监测仪器，如空气采样
我们MF4008 MF4003 MF5712 MF5706一体显示微型流量计如果有什么可以登录官

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或来电咨询 TEL: 85550363 FAX:
 
产品概述:
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子

计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；
产品特点:
   - 为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
  - 支持多种连接方式，易于安装与使用
    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精

度计量
    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据

，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
    - 零点稳定度高
    - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
    - 低功耗、低压损
    - 响应速度快
产品特点:

性能参数 FS4003 FS4008 单位
通 径 3 8 mm
大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1 
精 度 ±（1.5+0.2FS） %
重复性 0.75 %
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 0.12 %/oC
响应时间 100 ms
工作电源 8~18Vdc,100mA  
输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc  
大流量压损 100 600 pa
大工作压力 0.5 MPa
工作温度 -10 ~ +55 oC
存储温度 -20 ~ +65 oC
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）  
机械接口 BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头 
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa 
重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71（带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头）
英文说明
Unit performance parameters FS4003 FS4008
3 8 mm diameter
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
100:1 turndown ratio
Accuracy ± （1.5 +0.2 FS）%
Repeatability 0.75%
Zero drift ± 30 mV
Output drift 0.12% / oC
Response time 100 ms
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc
Maximum flow pressure loss 100 600 pa
Maximum working pressure of 0.5 MPa
Operating temperature -10 ~ +55 oC
Storage temperature -20 ~ +65 oC
Humidity <95% RH （with no icing or condensation）
Mechanical interface BSPT1 / 4 （R1 / 4）, 4mm/6mm/8mm quick connector
Calibration methods of air （or other gases）, 20oC, 101.325kPa
Weight of 57 （with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface）
71 （with 4mm, 8mm fast interface, 68 （with 6mm quick connector）