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离子蚀刻探针-终点检测仪IMP

离子蚀刻探针-终点检测仪

  • 价 格: 电议
  • 型号:IMP
  • 生 产 地:英国Hiden公司
  • 访问:404次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

北京英格海德分析技术有限公司

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IMP(Ions Milling Probe)是自带差式泵的耐用的二次离子质谱仪,独有的专业检测终点仪器。用于离子蚀刻控制以及优化工艺。适用于离子刻蚀过程中的二次离子和中性粒子分析。
  • 详细内容
  • 公司简介
应用:
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点:
· 高灵敏度的SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE,平行数字数据I/O,RS232脚本通讯
北京英格海德分析技术有限公司(Beijing Hiden Analytical Technology Ltd.)是世界著名的质谱仪制造者--英国海德公司(Hiden Analytical Ltd.)在中国地区的总代理。
多年来,我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是来自新技术研究的前沿,如等离子体、表面科学。我们与他们保持着密切的、积极的关系。
我们无与伦比的重量法吸附仪是其精湛技术的完美体现,为全球有关领域的研究者提供了最先进的技术手段,使其研究水平居于国际领先地位。
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