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活泼性/腐蚀性气体分析仪HPR-80

活泼性/腐蚀性气体分析仪

  • 价 格: 电议
  • 型号:HPR-80
  • 生 产 地:英国Hiden公司
  • 访问:685次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

北京英格海德分析技术有限公司

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HPR-80是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器。可快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。
  • 详细内容
  • 公司简介
应用:
• 等离子体/反应性离子蚀刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半导体晶片加工研究
• 真空、等离子体过程
• 活性物质定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究

特点:
• 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
• 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
• 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
• 进样压力从 1 mtorr 至大气压
• 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
• 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 软件 MASsoft 控制
• 矩阵反演,归一化及单峰参考


北京英格海德分析技术有限公司(Beijing Hiden Analytical Technology Ltd.)是世界著名的质谱仪制造者--英国海德公司(Hiden Analytical Ltd.)在中国地区的总代理。
多年来,我们在客户中建立了良好的声誉。我们的客户多数都是来自新技术研究的前沿,如等离子体、表面科学。我们与他们保持着密切的、积极的关系。
我们无与伦比的重量法吸附仪是其精湛技术的完美体现,为全球有关领域的研究者提供了最先进的技术手段,使其研究水平居于国际领先地位。
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