洁净度 | 洁净区域尺寸(feet) | 所用FFU数目 | 风量 (立方米/小时) |
10/100级 | 4×4×7 | 2 | 2300 |
4×8×7 | 4 | 4600 | |
6×8×7 | 6 | 6900 | |
6×12×7 | 9 | 10350 | |
6×16×7 | 12 | 13800 | |
10/100级 | 6×20×7 | 15 | 17250 |
8×8×7 | 8 | 9200 | |
8×10×7 | 10 | 11500 | |
8×12×7 | 12 | 13800 | |
8×16×7 | 16 | 18400 | |
8×20×7 | 20 | 23000 | |
10×12×7 | 15 | 17250 | |
12×12×7 | 18 | 20700 | |
1000级 | 6×12×7 | 2 | 2300 |
6×16×7 | 2 | 2300 | |
6×20×7 | 3 | 3450 | |
8×8×7 | 2 | 2300 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 4 | 4600 | |
8×16×7 | 4 | 4600 | |
8×20×7 | 4 | 4600 | |
10×12×7 | 5 | 5750 | |
12×20×7 | 6 | 6900 | |
10000级 | 6×12×7 | 1 | 1150 |
6×16×7 | 1 | 1150 | |
6×20×7 | 2 | 2300 | |
8×8×7 | 1 | 1150 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 2 | 2300 | |
8×16×7 | 2 | 2300 | |
8×20×7 | 2 | 2300 | |
10×12×7 | 3 | 3450 | |
12×20×7 | 4 | 4600 |
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