LEYBOLD莱宝真空泵，莱宝真空泵机组，莱宝真空泵系统

 

双级旋片泵
    TRIVAC C是双级油封式旋片真空泵，TRIVAC C的高效，可靠，低噪音，易维护的设计特别适用于科研、化工、分析仪器以及制冷业和电光源产品的生产使用，也可做为大型真空系统的前级泵使用。
保修期自发货之日起12个月。
- 抽速：8m3/h～60m3/h
- 极限分压强：10-4mbar c/s
- 内置防返油阀

德国莱宝的TRIVAC B系列双级油封旋片泵的主要技术参数为：
抽速：1.6m3/h～65m3/h
极限真空度：10-4mbar（无气镇分压强）
2×10-3mbar（无气镇全压强）
5×10-3mbar（带气镇全压强）
耐水蒸汽能力：25mbar～40mbar
德国莱宝的TRIVAC B系列双级油封旋片泵的主要特点：
1、内置油泵，对泵腔进行强制润滑。因此可以在入口压强为大气压的情况下连续工作。
2、内置自动防返油阀，可在停泵时自动将进气口截止，防止返油。
3、进气口和排气口有水平或垂直两种安装方式。
4、极强的耐水蒸汽能力。
另外，莱宝的TRIVAC B家族中还有以下用于特殊用途的真空泵。
- 专门用于汽车刹车油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行业中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX，ATEX认证防爆泵。
- 用于半导体行业的防腐蚀泵TRIVAC BCS系列。
单级旋片泵
德国莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要技术参数为：
抽速：10m3/h～1400m3/h
极限真空度：
SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B极限真空度为
<0.5mbar （无气镇分压强）
<1.5mbar （带气镇分压强）
SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的极限真空度为
<8×10-2mbar （无气镇分压强）
<7×10-1mbar （带气镇分压强）
排水蒸气能力：0.3～23公斤/小时
莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要特点有：
1、超强的排除水蒸气的能力。
2、出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。
3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。
4、在低压强下仍能保持高的抽速。
5、内置自动防返油阀。
6、SV630以下为风冷，不需要水冷，经济方便。
7、低噪音，低振动。
8、结构紧凑，体型小，节省空间。
9、可以与各种附件配套使用，因而可以满足各种不同应用的需要。

德国莱宝的SOGEVAC BI 系列单级油封旋片泵的主要技术参数为：

SOGEVAC BI单级油封旋片泵的主要特点有：
1、极限压强更低。
2、在低压强下仍能保持高的抽速。
3、适用于分析仪器、实验室、照明、汽车等。
   

膜片泵
单级膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 极限真空：100mbar
- 噪音：51～60DB
双级膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 极限真空：8mbar
- 噪音：47～52DB
DIVAC系列的主要特点：
1、无油真空泵。
2、可选配气镇阀，耐水蒸气能力强。
3、所有与介质接触的部件均由PTFE（聚四氟乙烯）和PVDF（聚偏氟乙烯）制成，因而具有极好的耐腐蚀性和耐溶剂性。可以用来抽除任何化学介质。
4、紧凑，体积小。
5、易于清除凝聚物，易于更换膜片。
低极限真空、低震动的膜片泵DIVAC
0.8T，0.8LT，2.5T，2.5VT，3.6LT，4.8VT
- 抽速：0.8～4.8m3/h
- 极限真空：0.5～3mbar
- 噪音：49～55DB
特点：
1、极限压强低，抽速大。
2、低震动，低噪音。
3、可用于德国莱宝TW系列的前级泵。

罗茨泵
    在250～2050米3/小时的抽速范围内，德国莱宝的罗茨泵的电机有直联式（WA/WAU）和封闭式（WS/WSU）两种规格，每种规格又分为带逸流阀、可在大气下启动的WAU/WSU和不带逸流阀的WA/WS的两种形式。
为了满足某些行业中对大抽速罗茨泵的需要，德国莱宝还有另一个系列的大型罗茨泵（RA系列），其抽速为3900～13000米3/小时。
    德国莱宝的RUVAC罗茨泵与专用的变频器配合使用，可使泵的抽速增加（最大）100%，从而弥补了各规格之间的抽速空挡。
    另外，德国莱宝还提供专门用于激光应用的罗茨循环风机。
德国莱宝罗茨泵的主要特点：
莱宝所有规格的罗茨泵均采用风冷，无需循环冷却水系统。
WAU/WSU系列可以在大气下启动，既可简化系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。
在很宽的压强范围内，即使在极限压强附近，都具有很高的抽速。
加工精度高，可将前级真空度提高一个数量级。
震动小，噪音低。
有立式泵和卧式泵可供选择。
WS/WSU系列为CANNED电机，与无油前级泵组合，可组成无油真空机组。
可以与变频器配合使用，以增加或降低抽速。

分子泵机组
    莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升/秒，极限真空度为＜10-10mbar。
其主要特点为：
- 陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行 时间长。
- 允许任意角度安装。
- 有水冷和风冷两种选择。
- 对H2的压缩比大。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。

TW系列复合分子泵
抽速：70 ～ 1600 升/秒
极限真空度：10－9 mbar
最大允许前级压强：6 ～ 14mbar
主要特点有：
- 转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达 14mbar ，并能抵抗短暂的大气冲击。
-高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
- 变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
- 模块化的设计为用户提供了多种选择。
- 结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。
- 可以任意角度安装。
- 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
- 轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
- 无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。
- 可在轴承需要维护时提前预警。
- 通过通讯接口可以与掌上电脑， PC 或 PLC 联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。
- 高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。

新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT，MAG2000C/CT，MAG2200C/CT，MAG 2800C/CT，MAG 3200C/CT
抽速：1500l/s ～ 3200l/s
五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。
转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ >600 次），无需更换保护轴承。
高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。
智能化电源，无需 UPS 。
带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。
分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
最先进的数字控制技术
运行速度、温度可设置；
运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息；
磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
控制器与泵无识别性，可互换。
免维护。
典型应用：
适用于
所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
科研领域
镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。