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整个系统由X射线定向单元、计算机单元和粘接单元组成。定向单元是由高压变压器产生的高压加到X射线管,X射线经过狭缝照射到样品表面上,在符合布拉格公式nλ=2dsinθ时产生衍射,衍射线由计数管接收,通过放大器将它的强度在微安表上显示出来。测角仪可记录到衍射峰位的角度值,输入到计算机后计算出晶棒的偏转角度α和β。根据所计算的α和β值,将晶棒在粘接台上用粘接剂粘接。
技术特性:
a) 主要性能:
该系统可对3~8英寸、最大长度700mm的晶棒进行定向和粘接。
b) 主要参数:
● X射线管:铜靶,强迫风冷● 样品旋转角度:-10~50°
● 管电压:30KVP,全压合闸● 计数管:盖革,工作电压500~1100V
● 管电流:0~5mA,连续可调● 时间常数:1、2档
● 整机耗电功率:小于0.5KW● 定位板旋转角(α):±10°, 最小读数0.001°
● 灵敏度:优于0.01°● 晶棒旋转角(β):±90°, 最小读数0.1°
● 最小角度读数:0.001°● 直径3~8英寸,长度700mm
丹东辽东射线仪器有限公司(原丹东射线仪器集团股份有限公司分析仪器厂)是设计生产射线仪器的专业公司,是射线仪器行业的骨干企业,是国内外行业中享有盛名的企业之一。公司拥有技术力量雄厚的科技队伍,及一批丰富经验的生产骨干,具有国家标准试验设备和先进生产程序。产品通过ISO9001国际质量体系认证。
辽东射线仪器有限公司设计生产的X射线探伤机、X射线分析仪器等射线产品具有较高的科学性和独特性。现已生产的便携式X射线探伤机、移动式X射线探伤机具有国内先进水平。是国内最早生产X射线晶体定向仪、X射线晶体分析仪的集科研、生产为一体的专业公司。我公司生产的移动式探伤机为国内的烟花爆竹生产新添了一项检验方式,具有性能可靠、使用方便、清晰度高等特点。本公司与北京有色金属研究院、有研硅谷、北京京联发数控科技有限公司合作设计生产的单晶滚磨定向装置,填补了国际产品的空白,并以角度的精确性、定向的准确性,提高了产品生产效率和科学效果;公司独立开发的线切割专用定向粘接系统填补了国内空白,解决了各种晶体在加工精度上的难点,受到了中外用户的好评。
长期以来,丹东辽东射线仪器有限公司精心致力于射线仪器的开发研究,从管理的高质量、技术的高标准、产品的高精度、企业的高信誉入手,使公司产品不但在国内享有盛名和较高的知名度,并已出口日本、德国、美国、韩国、朝鲜、台湾等国家和地区。目前我公司生产的定向仪和滚磨定向装置在国内半导体行业的市场占有率已达到90%以上,深得国内外合作科研单位、高等院校、生产企业得赞扬和首肯。同时,我公司真诚希望与各科研单位、各射线行业成员企业及广大用户互通信息、团结协作,致力于射线仪器地技术开发,使产品精益求精,以高效创新、诚信务实地管理为宗旨,将丹东射线基地建设的更加强大、繁荣。
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