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| 主要技术指标 | 按JJF1105-2003触针式表面粗糙测量仪校准规范最高档 |
| 测量参数 | Ra、Rz、（Rmax、Ry）、Rt、Rp、Rpm、Rz（jis）、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2…… |
| 最大测量长度 | 25mm;50mm |
| 直线度测量精度 | 0.4μm |
| 滤波器 | 高斯（Gaussian）滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器 |
| 截止波长 | 0.25，0.8，2.5 |
| 测量重复性 | 3% |
| 相对示值误差 | ±5% |
| 示值稳定性 | 3% |
| 测量长度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
| 测量范围 | 640μm |
| 分辨率 | 0.001μm |
| 测量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
| 返回速度（自动） | 1mm/s |
| 传感器针尖 | R=2μm钻石（测量力1mN）；R=5μm钻石（测量力4mN） |
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