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方阻测试仪主机主机技术能数
(1)测量范围:
可测电阻率:0.0001~19000Ω•cm
可测方块电阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各档均低于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0~199.99mV
灵敏度:10μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输出电源:≥1000ΩM
(4)供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用环境:
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
无较强的电场干扰,无强光直接照射
(6)重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
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