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SC-1浓度计CS-131

SC-1浓度计

  • 价 格: 电议
  • 型号:CS-131
  • 生 产 地:日本
  • 访问:650次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

上海首立实业有限公司

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产品展示

SC-1浓度计〈br〉适合于使用单槽或多槽方式的清洗装置〈br〉外形小巧、响应快速的SC-1溶液浓度计〈br〉
  • 详细内容
  • 公司简介

概要
CS-131是半导体制造中清洗工艺的SC-1溶液用于高精度药液浓度的监测仪,实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以常时间的监测微粒以及有机物的清除作业中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分浓度。通过使用监测输出的回收控制,可以确保SC-1溶液的浓度在允许范围内,同时,还可以避免不必要的更换药液工作。并且,冷却器一体型也进入了产品阵容内,可适用较大范围的样品温度。

特点

监测周期大约为2秒,支持300mm工艺的浓度管理
实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)

小巧化设计有利于节省清洗装置的空间
由于底面面积只有原来的2/3(※)左右,这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
(※和本公司产品CS-220系列进行比较)

通过减少清洗工艺中的批次不良,提高产量
通过浓度计的信号输出,进行SC-1溶液的补给控制,从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良,从而推进产量的全面提高。

全自动监测与简易控制
用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式,因此开始监测后不需要进行任何控制。另外,由于参照光谱测量时使用的是空气,所以不需要用水。

通过采取全面的气泡对策,可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡,在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在最低限度。并且,如果是冷却器一体型产品,则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

采用DC24V,实现高安全性
电源采用DC24V低压电,提高了安全性以避免触电事故的发生。并且,由于内置漏水传感器,在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等,采取紧急措施。

SC-1浓度计

CS-131

技术规格

型号和规格

CS-131:无冷却器
CS-131C:冷却器一体型

监测对象

SC-1(氨/过氧化氢水溶液)

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算的原理

温度补偿型多变量解析法

监测范围

氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%
过氧化氢:0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%
水:94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再现性

氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
过氧化氢: ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水    : ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

药液条件 温度

CS-131:20〜30℃
CS-131C:20〜80℃

药液条件 流量

CS-131:20〜60mL/min
CS-131C:20〜40mL/min

药液条件 压力

0.10〜0.20MPa

监测周期

最小约2秒(不包含药液的置换时间・冷却时间)

设置温度

20〜25℃

操作面板

1)温度检测值的显示:氨、过氧化氢、水
2)报警信号的显示(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限,浓度上限、浓度上上限

串行输入

RS-232C
1)浓度数据:氨、过氧化氢、水
2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

并行输入

DC12〜30V(光电耦合器绝缘)
并行温度报警(有效/无效)

并行输出

开路集电极输出为ON 时的最大电流:5mA、为OFF时的最大电压:30V
1)报警信号输出(氨、过氧化氢):浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常
3)漏液

模拟输出

4〜20mA(2输出:NH3浓度、H2O2浓度的2输出)
*与量程规格技术规格无关,可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)

电源

DC24V±10%, 2A

外形尺寸

CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm
CS-131C:291(W)×329(D)×269(H)mm

质量

CS-131:约11kg
CS-131C:约12kg

连接配管尺寸

导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm)

配管接头

Nippon Pillar Super型


       上海首立实业有限公司成立于2002年,是美国SOLY在中国投资的集科、工、贸于一体的综合性实业公司。

目前在国内的主要有实验室成套设备和生产工业用试剂两大方面的业务。

         其一:实验室成套设备和实验室工程方面,本公司是NIPPON DENSHOKU,HENKEL,SHEEN,DJH DESIGNS,TIMES,JICC,TPS,BLUE M,TABER,ERICHSEN等知名品牌的授权经销商和售后服务承包商。主营NIPPONDENSHOKU色差仪、色度仪、色差计、浊度仪、水分仪、分光测色仪、光泽计、密度计;仪立信Erichsen杯凸设备、岛津EDX720 X荧光光谱仪、HORIBA XGT-1000WR,TPS,Blue-M高温烘箱、TSA101(102,103)自动弹出式烘箱、紫外老化箱、光泽计、DJH膜厚仪、DJH MEK摩擦实验仪以及其它盐雾、磨耗、氙灯曝晒老化、红魔鬼振荡混合器、HENKEL铝合金表面钝化剂、皮膜剂,Taber磨耗仪等等相关实验室设备耗材及实验室工程;我司为涂料实验室、RoHS实验室、彩钢实验室及通用实验室提供一揽子解决方案。

        其二:生产加工,首立实业保税区工厂主要生产出口工业电子油、金属表面保护剂、微动开关触点保护脂和防锈剂等工业试剂和耗材。注册商标牌号:Cu606铜表面防变色保护剂,GR601触点保护脂,AU602金表面防变色保护剂,AG603银表面防变色保护剂,SN604锡表面防变色保护剂,NI605镍表面防变色保护剂,FE607防锈油,F608高效防锈脂,RoHSColor六价铬显色剂。

        董事长语录:“品质引领未来。”

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        公司自成立以来,凭借正确的经营理念,加之科学的管理方法,同美国、加拿大、德国、韩国、瑞典、瑞士、日本、中国香港及中国台湾地区等众多企业和社会团体建立了稳定长久的业务合作关系并树立了良好的信用度和企业美誉度。

        公司尊重知识、尊重人才,注重技术、追求创新。我们热忱希望同海内外各届人士及同行精诚合作、面向未来、共创多赢。首立实业欢迎您莅临洽谈!首立实业诚邀您加盟!

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