数字奈米全像显微镜

测量原理：

反射式数字全相术干涉显微镜 (R1000系列) 或

穿透式数字全相术干涉显微镜(T1000 系列)

取像型式：

强化与量化的相位对比影像

光源：

单波长雷射光源

样品台：

手动3 轴, x, y, z 各可位移25毫米

选配：较大位移的样品台

选配：软件自动控制的2轴或3轴样品台

照相机：

1392 x 1040 像素, 8 bits

可选物镜：

1.25x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 63x, 100x

选配：长工作距离物镜, 油浸渍物镜

物镜安装：

单物镜安装, 双物镜的滑动块或四物镜的转盘安置

计算机：

应为DHM配置含最新的Pentium® 处理器和视窗XP 专业版个人电脑为佳, 显示则需19寸, 1280 x 1024 像素的显示屏

软件：

Lyncee Tec专利的“袋熊”经典软件, 是利用C++ 和 .NET技术,专为在视窗XP®的3维表面成型, 曲面测量, 步进高度与粗度测量写成的.

选配工作模式：

垂直扫描与频闪观测模式

垂直的分辨率(＊)

瞬间：0.2° (在空气中0.2奈米)

空间：0.6° (在空气中0.6奈米)

垂直数字聚焦范围

视区50倍深度(取决于物镜)

垂直测量范围：

对平滑样品, 取决於测量区域的深度

340 奈米 (用选配的垂直扫描模式, 范围可以测得更高)

横向的分辨率 (＊＊):

取决于物镜： 用油浸渍的物镜(1.4 NA), 最低可测到300奈米，

可视区域：

取决于物镜可达到4.40毫米

横向取样：

1024 x 1024 像素 (全像照相)

撷取影像速率

实时影像：15 fps (512 x 512 像素), 4 fps (1024 x 1024像素)

离线重建：15 fps (1024 x 1024) (10000 fps速率为选配)

样品照明：

低至 1µW/cm2

最大样品尺寸：

H x W：200毫米 x 123毫米 (R1000系列)

50毫米 x 150毫米 (T1000 系列)

工作距离：

取决于物镜：从 0.30毫米 至 20毫米

取样反射率 (R1000系列)：

低至小於1%

撷取时间：

单一影像撷取, 低至小於 1微秒 (无扫描机械装置, 无相位移)

尺寸与重量：

L x W x H: 500 x 500 x 737毫米, 42.8 公斤 (R1000 系列)

400 x 400 x 500毫, 米34.5 公斤 (T1000系列)

电力需求:

85-260VAC - 50/60Hz, 耗电小於 120瓦

技术基础：

以C++ 和 .NET技术为基础

环境：

视窗XP 专业版

管理：

可多人操作, 拥有个别的密码与使用等级

个性化：

原厂预装使用者选择的物镜

可以保存或从资料库中叫回个人配置, 也可输入/输出配置

操作模式：

实况重建

重建速率,15 fps (512 x 512 像素全像照相),

4 fps (1024 x 1024像素全像照相)约需3.0 GHz的处理器

离线重建

储存的全像照相重建

回复样品所有的资料

允许修正所有的重建参数

序列

撷取与重播的顺序

速率达15 fps,更高需用选配的相机

频闪观测

（选配）

外在同步输出

- 1个类比达1 MHz - 10 Vrms (20 V波峰至波峰)

- 1个高压类比达1 MHz – 200 Vrms (400 V波峰至波峰)

- 频闪观测- 1 类比 2 数字, 使用者可定义波形, 振幅与频率输入

垂直扫描

（选配）

取决於物镜与硬件的技术指标

制作（选配）

为特定应用的客制化的组合介面

特制的工具

数字对焦

垂直数字对焦达区域的50倍深度

数字倾斜补偿

只要简单使用鼠标点击即可补偿

相位监看

在使用者定义的影像区域操作, 定时监看表面形状, 以实时, 顺序和频闪模式展开时间數據圖表

粗度测量

在使用者定义的线或平面上, 使用标准或使用者定义的频率系数,决定形状,波浪和粗度的差异

表面配对

可选择不同配对模型 (多項式的, Zenrike, 球形的, 圆柱型的,...)

压制形状因子

可使表面平坦以增加表面细节和变形的的可视度

相偏移可调整

使用者自定的参考零点

数据图表

用游标做精确的轴向和横向的测量

资料相容性

纪录与重建影像可输出为 .tif 或 .txt 格式阵列, 测量和纪录资料可输出.txt格式.

照相机设定

1024 x 1024 或 512 x 513 像素, 包括兴趣区域选择工具

软件控制相机快门,明亮与感光度

参考路径：

能够为浸在液体中或有玻璃外罩…的样品做补偿

自动侦测最佳的参考臂光径长度

强度：

自动调整参考臂的强度以获得最佳的全像影像对比

偏振(选配)：

若遇双折射的样品, 可自动调整参考臂偏振以获取最佳的干涉