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MAPS防震平台

MAPS防震平台

  • 价 格: 电议
  • 型号:
  • 生 产 地:日本
  • 访问:239次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

上海芬创信息科技有限公司

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随着技术的进步,半导体制造检查工程越来越微细化和高速化。消除振动直接关系到改善产品的质量问题。明立精机开发并提供了大量的能使半导体及液晶制造检查装置性能得到最大发挥的组合型除振系统,本公司在此领域有极高的信赖性和大量的成功实例。请在縮小投影型露光装置,液晶激光退火装置,各種検査装置等的设计阶段与我们联系。我们会为你提供最合适的除振解决方案。
  • 详细内容
  • 公司简介
组合型主动除振系统。以气压启动器控制实现水平及垂直全方向的优化除振性能,在装载台振动时也可发挥出很高的控制性能。
主动隔振,避免共振的影响。
主动防震平台:主要应用在高精密光刻机;
桌面型防震平台:主要应用在单台仪器,如3维形貌测试;
大负载型防震平台:标准最大负载可以达到13吨,适合针对大型设备的隔振;
高精密型防震平台:水平、垂直方向的固有平率都很小,适合精密的光学实验,如全息光学实验;
实验室型防震平台:风格能和办公室的匹配,方便移动;
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