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低温和高温真空探针台 SEMISHARE真空环境高低温测试技术 以下两个应用需要真空测试环境。 极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 高温无氧化测试: 当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点: | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
载物Chuck 温度范围:4.2K-480K 外置4个定位针臂 探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米 最多可以外置6个定位针臂 载物chuck 最大可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 针臂定位精度可以升级为0.7微米 极限真空到10-10 torr 可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体 客户订制 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
温控规格:
机械规格
光学部件规格
可选附件 防震桌 方形chuck 分子泵组 射频部件 Chuck可外部移动装置 客户定制。 |
SEMISHARE致力全球半导体技术的共享事业,专注于促进中国半导体事业的快速成长,目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前在中国设有半导体仪器营销事业群。
SEMISHARE半导体仪器营销事业群立足中国深圳,香港,北京,上海,西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务,助力先进技术的研发。
SEMISHARE拥有热诚,专业的员工和遍及中国的营销及服务网络,快速响应客户需求,提供客户化的产品和端到端的服务,助力客户的成功。
目前,SEMISHARE的营销产品和解决方案已经应用于中国100多家客户,服务中国研发机构前50强中的40家。
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