激光修复仪

根据客户TFT-LCD尺寸定激光修复仪尺寸，激光修复系统的品牌可以选择New Wave ,Hoya或者SEMISHARE LP-IR/GRN 双波段激光。

SEMISHARE大尺寸样品检测台

这一系列的修复仪均是根据客户TFT-LCD,OLED ,PCB 样品实际尺寸大小来定制，最大定制能力为1200mmx800mm。通常有两种不同的机械设计，第一种是chuck在显微镜下面大范围移动，让样品上每一个点都能够通过显微镜观察到，同时显微镜可以在水平面有1"x1"的移动行程。另一种是显微镜能够在覆盖整个样品的范围内移动，chuck固定不动。这两种机械设计都可以选择显微镜快速气动升降装置，以方便的装载样片。我们的设计有下面几个特点：

真空Chuck根据客户样品定制
Chuck上的真空环和真空孔根据客户的样品决定尺寸和位置。

Chuck旋转
通过旋转样品，使样品与显微镜移动方向平行。
Chuck倾斜

通过调节样品水平倾斜角度可以更好的观察样品的缺陷。
移动刻度尺，并可数字显示坐标
客户可以方便控制样品位移，移动精度1微米。

2D测试软件
样品尺寸可以通过测试软件测试采集入电脑的几何图像尺寸从而方便地计算出实际样品尺寸，测试前需要用标准件来校准测试系统。
背光
150W 白光可以连续调节。

掩膜板检测
掩膜板夹具加载在chuck上面，chuck可以选择是否需要背光源。

防震桌
可以极大地减少地面传导上来的震动。
TFT-LCD激光修复
可以选择Hoya,New Wave或者SEMISHARE自制型激光加载在显微镜上，根据切割材质（金属，ITO，氧化物等）不同可以选择可见光，红外和紫外波段。

SEMISHARE LP连线系统

可以选择SEMISHARE LP连线系统用于 mask 或者TFT-LCD，材质（Au,Ag etc.），最小线宽10微米。