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性能特点:
Ü 可观察清晰无闪烁正像,且视场开阔
Ü 测量精度在同类设备中最高
Ü 浮动功能:带有快速释放功能的X和Y轴
Ü 使用ML系列,专门为MF系列设计的高-NA物镜(长工作距离型)
Ü MF-A/MF-UA系列具有可扩展性,如与Vision Unit一起使用可提高其性能,或者可在PC中进行数据管理,从而确保提高效率.(备注:性能参数见下页)
性能参数
型号 | 测量显测量显微镜 微镜 | 2010C | 2017C | 3017C |
货号MF-A | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* |
货号MF-B | 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* |
XY工作台行程范围 | 100*100mm | 200*100mm | 200*170mm | 300*170mm |
Z轴移动范围 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm |
调焦方式 | 手动调焦(粗调焦:30mm/rev.,微调焦:0.2mm/rev.) | |||
测量方法 | 线性编码器(2轴型:X/Y轴,3轴型:X/Y/Z轴) | |||
分辩率(可转换) | 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm | |||
测量精度(20℃时) | XY轴:(2.5+0.02L)um ,L为无负载测量长度(mm),JISB7153 | |||
指示精度(20℃时) | Z轴:(5+0.04L)um,L为测量长度(mm) | |||
XY工作台台面尺寸 | 280*280mm | 350*280mm | 410*342mm | 510*342mm |
载物玻璃有效尺寸 | 180*180mm | 250*150mm | 270*240mm | 370*240mm |
旋转功能 | — | — | ±5°(左) | ±5°(左) |
台面最大承重 | 10kg | 20kg | 20kg | 20kg |
最大工件高度 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm |
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