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六甲基二硅氮烷
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分子式：（CH3）3SiNHSi（CH3）3
分子量：161.39
性状：无色透明液体、无毒、略带胺味。
密度（25℃）g/cm3：0.770—0.780
折光率：1.408±0.002
闪点：27℃
沸点：126℃
用途：可用于特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。也可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。 在有机硅氮烷化学中，可以用作与氯硅烷单体进行氯交换，从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势。
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