国产方块电阻测试仪

广州市盈翔嘉仪器仪表有限公司

方块电阻测试仪ST-21L 是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。

方块电阻测试仪ST-21L

该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。

◆ 特点：

采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；

以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；

采用单个电池供电，带电池欠压指示；

体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；

特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜

探头带抗静电模块

◆ 技术指标：

测量范围	按方块电阻量值大小分为二个量程档： 1.方块电阻 1.000～19.999Ω/□； 2.方块电阻 10.00～199.99Ω/□；最小分辨率：0.001Ω/□
恒流源	测量过程误差：≤±0.8%
模数转换器	量程：0～199.99mv；分辨率：10μv；方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；
测量不确定度	在整个量程范围内，测量不确定度≤5%
四探针探头规格	间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ
电源	使用一节450mAH的锂电池

◆ ST-21L方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：

◆ ST-21L方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：

型号（Model）	曲率半径（Radius）	压力（loads）	探针间距（spacing）	探针排列（Arrangement）
SP-601	0.5mm	100g	1.59mm	方形

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方块电阻测试仪ST-21 是四探针方块电阻测试仪中的新一代产品，是一种依照类似国家标准和美国A.S.T.M标准而设计，专门测量半导体方块电阻(或称薄屋电阻、面电阻，单位Ω/□)的新型仪器。可用于测量一

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