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主要技术指标
质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为:mL/min(毫升/分钟);(SCCM行业标准)
L/min (升/分钟)。 (SLM行业标准)
标准状态为:温度----273.15K(0℃);
气压----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号项目S49 32/MT
1流量规格(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)L/min
2调节阀类型电磁调节阀
3调节阀静止状态常闭
4准确度±1.5%F.S
5线性±1.5%F.S
6重复精度±0.2%F.S
7响应时间≤8秒(T95)
8工作压差范围(50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min)
9耐压3MPa; 10MPa
10工作环境温度(5~45)℃
11材料不锈钢316L
12标准密封材料Viton®, EPDM, 或其他由用户指定
13漏率1×10-8Pa.m3/s
14接头Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15输入输出信号(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16供电电源±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA)
17外形尺寸mm130(宽)×102(高)×28(厚)
18重量kg0.8
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:
半导体制造行业的气体流量控制;
分析仪器设备的气体计量与控制;
各种形式的真空镀膜设备;
环境检测与分析设备;
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;
特种材料表面处理装置与燃烧控制;
混气配气系统和泄露探测系统等。
2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号
S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计),S49为质量流量控制器(流量计)产品,32/MT为本公司此产品设计序列号。
质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量;
质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体的质量流量功能
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力,持续发展,立足国内,走向世界"的企业总体发展方向。力循"中外结合,品质为本"的经营理念,努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制,以适应全球经济一体化的市场竞争,为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆(HORIBAMETRON)产品适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。公司联系电话:400-018-8101公司网站:www.hor
北京堀场汇博隆精密仪器有限公司,专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家,产品适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。公司联系电话:400-018-8101公司网站:www.horiba
北京堀场汇博隆精密仪器有限公司,专业质量流量计/质量流量控制器厂家,产品适用于各种气体,零漂小,精度高,可任意角度安装。公司联系电话:400-018-8101公司官方网站:www.horibametr
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