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S49 32流量计厂家,气体流量计型号,质量流量计产品S49 32/MT

S49 32流量计厂家,气体流量计型号,质量流量计产品

  • 价 格: 电议
  • 型号:S49 32/MT
  • 生 产 地:中国大陆
  • 访问:67次
  • 发布日期:2014/1/28(更新日期:2014/1/28)

北京堀场汇博隆精密仪器有限公司

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产品展示

北京堀场汇博隆精密仪器有限公司,专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家,产品适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。公司联系电话:400-018-8101公司网站:www.horibametron.com
  • 详细内容
  • 公司简介

 

 

主要技术指标

   质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。

   质量流量单位为:mL/min(毫升/分钟);(SCCM行业标准)

            L/min (升/分钟)。  (SLM行业标准)

   标准状态为:温度----273.15K(0℃);

               气压----101325Pa(760mmHg)

   F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标

编号项目S49 32/MT

1流量规格(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)L/min

2调节阀类型电磁调节阀

3调节阀静止状态常闭

4准确度±1.5%F.S

5线性±1.5%F.S

6重复精度±0.2%F.S

7响应时间≤8秒(T95)

8工作压差范围(50~300)kPa;   (100~300)kPa(10L/min)

9耐压3MPa;           10MPa

10工作环境温度(5~45)℃

11材料不锈钢316L

12标准密封材料Viton®,    EPDM,  或其他由用户指定

13漏率1×10-8Pa.m3/s

14接头Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定

15输入输出信号(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)

16供电电源±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17外形尺寸mm130(宽)×102(高)×28(厚) 

18重量kg0.8

 

   S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:

   ☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

   ☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

   ☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

   ☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

   ☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

   S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:

   半导体制造行业的气体流量控制;

   分析仪器设备的气体计量与控制;

   各种形式的真空镀膜设备;

   环境检测与分析设备;

   化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;

   特种材料表面处理装置与燃烧控制;

   混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号

   S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计),S49为质量流量控制器(流量计)产品,32/MT为本公司此产品设计序列号。

   质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量;

质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体的质量流量功能


  北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理,中日双方共同协作的国际化团队,是由全球顶级热式质量流量控制器(MFC)制造商——HORIBA STEC与中国知名热式质量流量控制器(MFC)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立,是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。

  公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力,持续发展,立足国内,走向世界"的企业总体发展方向。力循"中外结合,品质为本"的经营理念,努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制,以适应全球经济一体化的市场竞争,为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。

 

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