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特点及应用领域
主要技术指标
质量流量控制器（流量计）出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: 标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）
标准状态L/min （升/分钟） （SLM行业标准）
标准状态规定为:温度 －－- 0℃
气压 — 101325 Pa
F.S （Full Scale）:表示满量程值
表1 S49 33M/MT型质量流量控制器（流量计）技术指标
| 编号 | 项目 | S49 33/MT | ||
| 1 | 流量规格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10） L/min | （15,20,30） L/min | |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | ||
| 3 | 调节阀静止位置 | 常闭 | ||
| 4 | 准确度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
| 5 | 线性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
| 6 | 重复精度 | ±0.2 %F.S | ||
| 7 | 响应时间 | ≤8 s（T95） | ||
| 8 | 工作压差范围 | （50 ～ 300） kPa； （10～30）L/min （100～300）kPa | ||
| 9 | 耐压 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
| 10 | 工作环境温度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
| 11 | 材料 | 不锈钢316L | ||
| 12 | 标准密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 | ||
| 13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
| 14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok（或VCR）， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
| 15 | 输入输出信号 | 0 V ～ +5.00 V （输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA） | ||
| 16 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
| 17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
| 18 | 重量 kg | 1.2 | ||
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆（HORIBAMETRON）产品适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。公司联系电话：400-018-8101公司网站：www.hor
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