苏州无锡南通太原长春天津北京济南青岛上海广州成都重庆西安南昌长沙株洲杭州嘉兴嘉定桐乡UL1000Fab干式氦质谱检漏仪

 INFICON UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的最佳真空结构，UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 843，方法 1014）。

功能

·                   15 级的宽测量范围

·                   较短的抽气和响应时间

·                   移动式全金属外壳，增加了便利性，具有绝对可操作性

·                   I-CAL 确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间

·                   抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果

·                   含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气吸气能力和高压缩比

·                   旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互

·                   自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

·                   自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试

·                   通过电子邮件进行软件更新

·                   含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

·                   内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

·                   对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持

·                   需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

·                   在现有工具中安装前对部件执行检漏

·                   工艺气体系统的检查和安装

·                   内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试