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苏州南通上海北京郑州洛阳宜兴无锡常熟张家港镇江南京合肥济南青岛厦门福州漳州珠海如皋嘉兴嘉定英福康Guardian Guardian EIES 控制器

苏州南通上海北京郑州洛阳宜兴无锡常熟张家港镇江南京合肥济南青岛厦门福州漳州珠海如皋嘉兴嘉定英福康Guardian

  • 价 格: 1000元
  • 型号:Guardian EIES 控制器
  • 生 产 地:欧洲
  • 访问:38次
  • 发布日期:2015/1/31(更新日期:2015/1/31)

昆山熙日机械设备有限公司

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Guardian EIES 控制器,同时沉积多达八种材料,适合于 CIGS 薄膜
  • 详细内容
  • 公司简介
 Guardian 可以控制速率介于 0.1 至 10,000 Å/s 之间的沉积过程。它可以操作一两个传感器、最多 8 个光输入以及控制多达 8 个沉积源,实现最多 8 种材料共沉积。

INFICON Guardian 是光伏组件、OLED、光伏装置、超导薄膜以及 MBE 制造应用的理想之选。

Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES) 技术而构建。利用 EIES,要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热,从而产生光子。产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器,光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。然后,INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。对于多种材料,可以将其他检测器与相应的光滤波器结合使用。

完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测器、一个光滤波器、一个 Guardian 控制器装置以及一个安装有 Guardian 软件的 PC(用户自备)。EIES 通常用于控制多种材料的沉积,因此,大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件(例如分裂器)以及 QCM,QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。如需关于典型系统的更多信息,请参阅下面的 Downloads(下载)选项卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉积系统,需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长分别是多少?

如果不同材料峰值相近,您可能需要监控二级发射波长,该波长的信号强度较低。

沉积过程中,真空室中存在哪些本底气体?这些气体对应的发射波长是多少?

如果本底气体的发射对沉积材料造成干扰,建议使用气体补偿传感器。

EIES 使用唯一定义的原子种类范围时最有效。分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽,无法准确测量。不建议将 EIES 用于有机材料。各个具体应用的最佳 EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。

功能

  • 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
  • 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
  • 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
  • 12 个继电器输出和 16 个数字输入
  • 用于设置与操作的基于 Windows 的软件
  • 与 INFICON Sentinel® 传感器兼容

 昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某知名外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域

本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品畅销国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础

公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力里其乐、英国爱德华、台湾凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等高端品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油;

产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。

售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及先进的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。

公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以最优秀的产品,最可靠的质量,最优惠的价格,最优质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。

 

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