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IC6膜厚控制仪可靠的过程控制
有全面的特性清单, 可容易地将 IC6 集成于您的系统实现完全的过程控制. 对于速率和膜厚控制, IC6 有同时控制多至 6 个蒸发源的能力. 对于源控制或速率和膜厚记录, IC6 可指定多至 12个模拟输出.仪器的逻辑和过程控制能力包括 100 个可编程的逻辑语句, 20个计数器和 20 个定时器. I/O 功能提供多至 24 个继电器输出,28个 TTL 输入, 和 14 个 TTL 输出. 逻辑语句可用于与外输入或输出协同; 允许 IC6 执行 PLC 或其它额外设备的功能. 每个逻辑语句可包括多至 5 个可用 Boolean (布尔) 逻辑链接的功能。
为过程配方的灵活性, IC6 可容纳 50 个过程, 每个过程 200个膜层. 可将过程链接在一起达到最大 10,000 个膜层.Auto Z 显著地为多材料和多膜层提高膜厚测量的精确度.仪器的 Auto Z 功能可自动确定 Z-比值, 保持膜厚和速率精度,和免除用户估值声阻的需要. 当不同材料沉积在同一晶体上, 在两种或三种材料共镀膜, 或当材料的Z-比值未知时, 这是尤其重要的。
IC6膜厚控制仪功能概览
INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，提高厚度测量的精度
一个 IC6 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
10 Hz 测量
100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
多个源厚度合计功能
测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）
速率显示分辨率可达 0.001/s
4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
可选以太网通信
符合 RoHS 标准
IC6膜厚控制仪在保留了IC5的所有技术特点之外，增加了如下几点新功能：
1）TFT-LCD显示屏替代IC5的CRT显像管
2）USB数据采集接口取代IC5的软盘驱动
3）测量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ
4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某知名外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。
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