美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计

HPS系列的925 micropirani™传感器是一种基于MEMS. 925 独特的，基于MEMS（微机电系统）传感器。925是用于真空压力测量并提供模拟电压输出，数字接口和设定点继电器.用于过程控制。

美国MKS真空计   MKS 925系列皮拉尼真空计优势：

•增加压力测量范围从10-5乇大气，在一个标准的皮拉尼

• Three set point relays for process control (option)

•三点继电器用于过程控制（选项）

• Ultra compact design

•超紧凑的设计

• High accuracy for improved process control

•改进过程控制的高精度

• Ease of operation via analog output ａnd digital communication (RS232 or RS485)

通过模拟输出和数字通信（RS232或RS485易于操作•）

• MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration

•micropiranitm固态传感器是从耐空气侵入或振动的损伤

• Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy

•安装在任何方向，安装方便；没有损失的测量精度

• Optional display available for local pressure indication

•可选显示可用的局部压力指示

• Alternate analog output ａnd electrical connectors available to match other vendors’

•交替的模拟输出和电连接器可与其他厂商，方便容易升级

• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC

•CE标志，符合EMC指令2004／108／EEC

美国MKS真空计   MKS 925系列皮拉尼真空计应用：

925可以用在许多不同的真空应用在半导体的分析，

and coating industries:

涂料行业：

• General vacuum pressure measurement

•一般真空压力测量

• Foreline ａnd roughing pressure measurement

•前级和粗压力测量

• Gas backfilling measurement ａnd control

•气体充填的测量与控制

• Mass spectrometer control

•质谱仪控制

• Activation of UHV gauges

•激活真空计

• System process control

•系统过程控制

• Control system pressure

•压力控制系统