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●技術參數:
産品型號 | VMS-1510G/F | VMS-2010G/F | VMS-2515G/F | VMS-3020G/F | VMS-4030G/F |
金屬台尺寸 | 354*228mm | 404*228mm | 450*280mm | 500*330mm | 606*466mm |
玻璃台尺寸 | 210*160mm | 260*160mm | 306*196mm | 350*280mm | 450*350mm |
Y*X行程 | 150*100mm | 200*100mm | 250*150mm | 300*200mm | 400*300mm |
Z軸行程 | 150mm | ||||
測量精度 | (3+L/75)μm | ||||
放大倍率 | 40X-255X(台制物鏡/美國NAVITAR物鏡) | ||||
影像系統 | 台制1/3″彩色CCD/日産1/2″彩色CCD | ||||
解 析 力 | 0.001mm | ||||
照 明 | LED光源,亮度可調 | ||||
儀器電源 | 220V(AC),50Hz 30W | ||||
儀器重量 | 100Kg | 110Kg | 120Kg | 140Kg | 240Kg |
外觀尺寸 | 756*540*860mm | 670*660*950mm | 720*950*1020mm |
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