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大行程移动平台设计
MX系列机型采用4\6平台设计,可透用于相应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。
MX-4R/MX4RT:4英寸平台,移动范围:105mmX105mm
MX-6R/MX6RT:6英寸平台,反射照明移动范围:158mmX158mm,透射照明移动范围100mmX100mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。
超长工作距金相物镜
全新设计的超长工作距物镜,采用半复消色差技术,并使用多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。
高性能物镜转换器
MX机型的转换器采用精密轴承设计,转动手减轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
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