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产品介绍：
抽真空系统组成：真空系统管路、扩散泵机组/分子泵机组、预抽前级罗兹泵机组、水冷系统、加热系统、电器保护系统、自动控制系统。
产品属性：
电控技术要求扩散泵机组和罗茨泵机组可进行手动控制和自动控制。罗茨泵机组：1.机械泵与罗茨泵可进行手动和自动控制。2.机械泵进气口有防返油装置。3.扩散泵排气口有防返油装置。4.扩散泵排气口安装真空规管，可显示真空度，在真空度过低时保护扩散泵。真空阀可进行手动控制和自动控制，并根据设备当前工作状态防止误操作并报警提示。系统具备自动保护功能和手动操作功能。
使用说明：
设备各电机有独立的过热过流保护功能，以保护设备件；操作控制面板按钮触摸屏等控制电压均24VDC安全电压；设备工作在真空状态，不存在压力安全问题。
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