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—100nm以下纳米级红外光谱分析
美国Anasys公司的纳米红外光谱系列包含有一个原子力显微镜用于探测形貌及成像,除此之外,采用一个可调脉冲激光源照射样品,利用AFM针尖在纳米尺度下探测辐射吸收,获得纳米尺度红外光谱(空间分辨率<100nm) 。特定波长下的扫描成像图为用户提供超高分辨率的组分分布。
图1 纳米红外光谱二代工作原理
纳米红外光谱系列二代产品(nanoIR2)采用侧面入射光模式,大大简化制样过程,操作更加便捷,大大扩展了纳米红外光谱的使用范围。为了满足超薄薄膜的测试需求,独创专利技术-共振增强模式极大提高了纳米红外光谱的垂直灵敏度,使厚度20nm以下薄膜的光谱分析成为可能(见图1)。
纳米红外光谱广泛的应用在大量软质物质的研究中,如聚合物共混物、薄至单层的薄膜、界面和表面、电纺纤维、细胞、细菌、淀粉质物质等。
nanoIR2的主要特点:
□ 简化制样过程,操作便捷
□ 纳米级空间分辨率(<100nm)的光谱分析
□ 高清晰红外吸收成像
□ 快速光谱测试,每条谱线采集时间~1min
□ 准确可解析的红外光谱,可以使用商业的IR数据库进行化学鉴定
□ 超高垂直灵敏度,可以进行超薄薄膜和单层膜的光谱测试
□ 多功能、互补的测试,可以获得纳米尺寸度下表面形貌、机械性能、热性和化学信息之间的相关性
纳米红外光谱二代(nanoIR2) | 共振增强纳米红外光谱二代(nanoIR2) | |
激光可调范围 | 900~2000cm-1,2250~3600cm-1 | 1200~1800cm-1 |
红外光源线宽 | 平均4cm-1 | 1cm-1 FWHM |
最小样品厚度 | >50nm | <20nm |
纳米机械性能成像 | 可以,通过接触共振模式 | 不可以 |
IR吸收成像 | 可以, | 不可以 |
单层膜测量 | 不可以 | 可以 |
入射光模式 | 红外光从样品上方入射(nanoIR2) | |
测量技术 | 光热诱导共振技术(PTIR) | |
检测量 | 红外光吸收 | |
XY方向扫描范围 | 80x80um | |
Z方向扫描范围 | >7um | |
空间分辨率 | 20~100nm | |
点光谱测量时间 | 约1分钟 | |
标准成像模式 | 接触模式;轻敲模式;力曲线模式;力调制模式 | |
可选成像模式 | 纳米热分析(nanoTA);洛伦兹接触共振(LCR);扫描热显微镜(SThM); 导电原子力模式(CAFM);其他模式可增加 |
应用案例
半导体器件的化学分析
半导体器件各层的nanoIR2测量。测试结果揭示了化学组分的多样性,传统的红外光谱无法进行这种测量。
聚合物混合物的界面分析
碳纤维-环氧树脂复合材料的nanoIR2测量揭示了纤维/环氧树脂界面化学组分的多样性。
金属表面的有机污渍
共振增强模式测试磁盘上的纳米级有机污染物的红外光谱。污染物颗粒的尺寸约为100nm×100nm×28nm。
显微切片的碳粉颗粒
调色剂颗粒是一种复杂的多组分混合物,nanoIR2可以在纳米级分辨率下对这些组分进行鉴定。
矿物中的碳氢化合物
AFM形貌图(左图)和红外吸收图(右图),通过探测CH键的吸收确定碳氢化合物的分布。
聚合物超薄薄膜
共振增强模式能够对非常薄的薄膜进行高质量的测量。上图为20nm厚PMMA薄膜的nanoIR2测量结果。 |
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