纳米级三维测量仪

德国Klocke公司的Nanofinger是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测量系统，系统测量范围大，且具有极高的空间三维精度。可在50mm x 50mm x20mm的空间范围内实现分辨率1nm的三維坐标测量，跨越8个数量级。
该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测量设备的功能外，最突出的特点是可以进行三维高精度坐标测量，这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测量相比，该设备的测量精度、分辨率要高出几个数量级。

整个3D Nanofinger系统由台架、控制系统、探头、针尖组成。
系统控制单元控制探针沿样品表面移动，以测量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根据需要设定参数，如探头移动的步长，选择、制定自己的测试模式，以使测量长度、速度、路径、分辨率达到最优化。
系统的数据处理能力非常强，可得到多种参数，包括形貌、粗糙度、坐标尺寸等。同时，系统有自动控制能力，可以和超精密微加工、微组装系统组合，例如为微加工系统提供在线检测，以随时控制加工质量。

应用于MEMS微机械、半导体微电子、光学、分子生物学和精密工程，提供大范围、纳米精度的定位、操纵、处理和测量。还可用于微小零件、刀具、模具的精密測量。