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Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）介绍 |
Multiprobe MBE系列产品满足现代纳米技术研究对于结合高质量MBE与可靠的多功能表面分析的最苛刻的要求。
Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）表面分析主要特点：
-STM与AFM可实现原子分辨的结构分析
-谱学研究
-原位同时进行SPM，SEM，SAM测量
-原子尺度的样品控制
-针对最佳化学分析的XPS或单色XPS
-针对小于10nm结构化学分析的SAM
-结合Omicron Gemini电镜在超高真空中实现3nm分辨SEM测量
Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）主要特点
-高质量的材料生长
-设计兼容从小样品直到4英寸基片
-可选RHEED，RGA以及束流监测
-提供原位检测技术，如测温仪，椭偏仪和反射光谱
-对于高纯度高熔点材料可选用电子束蒸发源
-适于II/VI族与III/V族组分的半导体材料
-可提供蒸发源，裂解源等
-生长过程的软件/硬件控制系统
Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）主要特点
1.可以在生长过程中及过程间实现纳米级的表面观察与表征，无需将样品暴露于大气环境
2.模块化的系统设计与灵活的MBE源选取保证最大程度满足客户的需要
3.多种分析手段相结合：STM，AFM，XPS，UPS，AES，LEED，SAM，PEEM ...
4.多种MBE腔室，样品直径最大可达4英寸
5.衬底温度可达1250℃
6.系统升级及扩展极为方便
7.可以根据客户的需要定制系统
飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS)可以广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。 TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素，分子等结构信息。
Omicron超高真空扫描探针显微镜 UHV SPM（UHV SPM）
主要特点1.样品最大可达4英寸直径 2.温度范围从<5K至1500K 3.极低的漂移 4.具备原位蒸镀的能力 5.优秀的STM以及I/V，dI/dV谱性能 6.简单安全的针
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