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电子超纯水一般工艺流程: (水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)典型工艺1:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点 2·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象3·预处理-一级反渗透-加药机( PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象4·预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象5·预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象.应用场合:1·半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;2·超纯材料和超纯化学试剂;3·实验室和中试车间4·汽车、家电表面抛光处理;5·其他高科技精微产品。
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