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产品型号 | G200M | G150M | G150S |
测量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口径 | 200mm | 152.4mm(6英寸) | 152.4mm(6英寸) |
标准镜材料 | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) |
光源 | 氦氖激光(632.8nm) | 氦氖激光(632.8nm) | 半导体激光(635nm) |
连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切换 | 对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换 | ||
显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | ||
平面透过标准镜 | PV:优于λ/15 | PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜 | |
平面反射标准镜 | 选配 | 标配 | 选配 |
衰减过滤片 | 选配 | 选配 | 选配 |
仪器尺寸·(长X宽X高) | 550X550X1100mm | 550X550X1070mm | 550X550X1070mm |
仪器重量 | 100KG | 80KG | 80KG |
电源 | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz |
气浮平台(长X宽) | 标配(1200X600mm) | 标配(1200X600mm) | 选配 |
精度高:标准镜精度高,且材料经过精密退火处理,稳定可靠; 调整方便:可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式,方便调整; 条纹真实:可调节共轭成像位置,得到清晰、准确、真实的干涉条纹; 性能优良:仪器具备良好的隔振性能,适合光学加工现场使用; 配件丰富:选配简易密封罩,可将测试腔与外界气流隔离,降低测试过程中气流扰动,提高判断的准确性 |
仪器初始化:开机后稳定15分钟,使激光器模式稳定;将仪器右侧的转换开关切换至“对准调整”显示模式,确保标准镜反射光点位于十字叉丝中央。 光路粗调:将待测元件放置于载物台上,将转换开关切换至“对准调整”显示模式,调整载物台的两维角度调节旋钮,使待测面反射光点与标准镜反射光点在十字叉丝中心重合。 光路精调:将转换开关切换至“干涉图”显示模式,此时监视器上已经可以显示出密集的干涉条纹,微调标准镜调整架的两维角度调节旋钮,将视场内的干涉条纹调整至3~5根。 条纹判读:依据GB 2831-81(光学零件的面形偏差检验方法),并结合我们为客户特别制作的“干涉图与波像差对比图”(见附录),进行条纹判读。 3.2、特殊操作 干涉图清晰度调节:通过调整标准镜旁边的“共轭调节旋钮”,使干涉图清晰的显示在监视器上。仪器在出厂之前已经校正到最佳成像位置,一般情况下不需要进行重新调整。 干涉图对比度调节:当待测表面镀高反膜时,干涉条纹对比度会较差,此时推荐选配衰减过滤片,将其插入待测元件与标准镜之间衰减光强,可获得良好的条纹对比度。 |
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