剪切干涉仪上海乾曜光学科技有限公司

     上海乾曜光学科技有限公司秉承“超越精密 源自理想”的精神专注、专业地致力于光学测量仪器、光学系统、光学元件以及精密光机系统的设计、制造。为光学领域的科学研究、精密测量提供全方位的解决方案。
       乾曜光学具有激光干涉仪独立研发，光学和机械核心元件制造，光学装校，和性能测试的全过程能力，结合完善的销售渠道和售后服务，为用户提供全方位的服务。随着公司不断成长，目前具有年产400台干涉仪的能力，累计销售超过800台，服务全国各地的科研院所，大学和企业，并销往日本，美国和欧洲等地。
     乾曜光学为客户提供中高端激光干涉仪，平面干涉仪具有口径范围大（5mm-450mm)的特点，有效地满足了大口径光学元件检测的需求；球面干涉仪有30mm，60mm，4英寸，6英寸等多个型号，标准镜头F#范围广泛。高端产品不但具有国际同等的功能和精度，而且为客户提供定制产品，主要应用于：国内计量机构广泛用于对光学样品的检定和校准；科研院所用于光学系统装校的过程监控和系统精度评价；也能够为开展进出口业务的客户提供与国外干涉仪的对标服务。中端产品具有较高的精度并较好的控制了成本，适合光学车间的光学元件的快速检测。大口径平面干涉仪有效地满足了大口径光学元件，以及拼盘加工过程中的测量口径需求；球面干涉仪的独特设计，成像清晰，操作便捷，具有测试过程中被测元件无需调整位置的特点，极大地提高了检测速度。
剪切干涉仪
      采用剪切干涉技术，简单、直观的检测激光光束的平行度，可作为激光器装调或实验室光路调整的基准。根据条纹相对于水平基线的旋转角度可以计算出光束准直度；同时，通过判读干涉条纹的形状可以分析原始波面的波差分布。 因此，这既是激光束准直检测仪，又是定性化的光束波前分析仪。

1、仪器规格参数表

2、仪器特点

• 剪切板选用熔石英材料，热膨胀系数低，且应力小；
• 可使用波长覆盖可见光与近红外波段（400nm~1064nm），上表列出了若干特征波长的技术参数；
• QY-SP-08型剪切干涉仪专为激光器光束准直性检验设计，可由监视器对激光器输出的小口径光束进行观测。入射光束的功率设计值为1mw左右，超过此功率值时，请使用衰减片。其他类型的剪切干涉仪对入射光强没有限制。

一、   测量原理

基于平板剪切干涉原理，采用一块具有一定厚度并带有微量楔角的高质量光学平板将一个具有空间相干性的波面分割为两个完全相同的波面，并且使这两个波面彼此相对错位；因为波面上各点是彼此相干的，因此在这两个波面的重叠区将产生干涉（图1）。

一、   测量方法

1、光束准直度的判读：

观察干涉条纹接收屏条纹的倾斜方向，如图2所示。若条纹与基准线平行，则光束是准直的；若条纹沿斜上方向倾斜，则光束是发散的；若条纹沿斜下方向倾斜，则光束是会聚的。

当光束不平行时，通过测量条纹相对于基准线的转角，可推算出光束的发散角。计算方法如图3所示：

 

图3、光束发散角计算方法

波面的曲率半径及发散角的计算公式如下：

 

 

其中，入射光束直径d与波长 已知；剪切量 可查看产品目录的技术参数；条纹间距 与波长及剪切板楔角有关，可参考产品目录或直接用量具测量；条纹偏转角 可测量得出（需选购带刻度的接收组件）。代入式(1)、(2)，即可求得光束波面的曲率半径 及发散角 。

 

 

 2、           光束波像差的判断：

下面分别介绍各种像差所对应的剪切干涉图，以便在测试时进行对照判断：

图4、球差波面在不同离焦位置的剪切干涉图：(a)焦内，(b)焦点，(c)、(d)：焦外

图5、彗差波面在不同离焦位置的剪切干涉图：(a)无离焦，(b)有微量离焦

图6、像散波面的剪切干涉图：(a)弧矢方向剪切，(b)子午方向剪切