SJ6000激光干涉仪

一.SJ6000激光干涉仪概述
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。

二.SJ6000激光干涉仪功能
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

三.SJ6000激光干涉仪工作原理
中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

四.SJ6000激光干涉仪性能特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

五.SJ6000激光干涉仪技术参数

?系统性能
?    测量方式：单频
?    稳频精度：0.05ppm
?    动态采集频率：50 kHz
?    预热时间：5-10分钟
?    工作温度范围：0~38℃
?    环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
?    存储温度范围：-20℃~70℃

?环境补偿示值误差
?    空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
?    材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
?    空气湿度传感器：±6% (0-95%)
?    大气压力传感器：±0.1kPa

?线性测量
?    测量距离：0-40m
?    测量精度：0.5ppm (0-38℃)
?    测量分辨率：1nm
?    测量最大速度：3m/sec

?角度测量
?    轴向量程：0-15m
?    测量范围：±10°
?    测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
?    测量分辨率：0.1″

?平面度测量
?    轴向量程：0-15 m
?    测量范围：±1.5 mm
?    测量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
?    基板尺寸：50mm、100mm、150mm
测量分辨率：0.1μm

?直线度测量
?    轴向量程：0.1-4.0 m
?    测量范围：±3.5 mm
?    测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
?    测量分辨率：0.01μm

?垂直度测量
?    轴向量程：0.1-3.0 m
测量范围：±3.5mm
?    测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
?    测量分辨率：0.01μm/m

?回转轴分度精度测量
?    角度测量范围：0-360°
?    精密转台角度增量：5°
?    精密转台分度精度：±1″
?    精密转台重复性：0.2″

六.SJ6000激光干涉仪标准配置

1.SJ6000主机：1台
2.环境补偿单元：1台
3.光学镜组：
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
小型线性光学镜组：1套（选配）
      小角度测量光学镜组：1套（选配）
      直线度测量光学镜组：1套（选配）
      垂直度测量光学镜组：1套（选配）
      平面度测量辅助附件：1套（选配）
回转轴测量精密转台：1套（选配）

4.测量软件：1套
5.便携式笔记本电脑：1台
6.便携式仪器配件箱：1个
7.通用三脚架：1个
8.云台附件：1套
9.磁性表座：2套
10. 产品使用说明书：1套
11. 产品合格证、保修卡：1套
12. 免费保修：1年
13.校准证书（选配）
激光频率校准证书：
   1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
   2）由其它机构出具。
环境补偿单元校准证书：
  1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
  2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。