激光干涉仪原理

激光干涉仪原理：
线性度测量是激光干涉仪的基本测量，原理如图所示。将一个角锥反射镜安装到分光镜上，组成线性干涉镜，它形成干涉仪的参考光路。另一个角锥反射镜安装到待测目标上，它与干涉镜之间形成干涉仪的测量光路。随着平移装置多次位移，每移动设定位移量之后，由干涉仪记录测量光路改变量，即平移装置的位移量。


激光干涉仪应用：
1、在数控机床检定中的应用
SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。

 
数控机床轴定位精度、重复定位精度的检测

2、在三坐标检测中的应用
SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。

三坐标线性精度、垂直度的检测

3、在位移传感器中的应用
利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。

传感器线性精度的测量

4、与其他镜组配合的应用
SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有极高的精度和效率。

 
测长机线性精度、垂直度的测量

 
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