EDWARDS爱德华EH系列真空泵EH500
概述：
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相
对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转
子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
容积（工作容积）
50Hz505 m3h-1/300 ft3min-1
60Hz605 m3h-1/335 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40350 m3h-1/206 ft3min-1
E1M80 或 E2M80400 m3h-1/236 ft3min-1
E1M175 或 E2M175440 m3h-1/259 ft3min-1
E1M275 或 E2M275460 m3h-1/271 ft3min-1
泵的压差 ?
50Hz0-110 mbar/0-83 Torr
60Hz0-90 mbar/0-68 Torr
入口连接ISO100
出口连接ISO63
转速
50Hz0-2900 rpm
60Hz0-3500 rpm
连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口压力1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵GV80，E2M80
电源供给
50Hz220-240V/380-415V
60Hz230V/460V
马达功率
碳氢化合物2.2kW/3hp
PFPE2.2kW/3hp
ATEX2.2kW
防爆型3hp
环境温度范围
操作5 至 40°C/40 至 104°F
存储-10 至 80°C/14 至 176°F
最大操作湿度90% RH
推荐用油
标准型Ultragrade 20
PFPE 版本Fomblin? YVAC 16/6
油容量
联结器箱1.5 升
轴杆封口储油器0.125 升
重量*106 kg/233 lb
深圳市晟实科技有限公司 深圳市晟实科技有限公司成立于深圳市宝安，在深圳西部设有联络处：地址为宝安区沙井益华电子城一楼B623A室。我司下设有三个事业部：真空事业部、电镀事业部、焊接加工服务部。 真空事业部：专为国内外企业的真空系统设备提供解决方案。公司拥有一批经验丰富的研发与维修保养团队，专业服务于欧美日韩各大品牌进口真空泵的维修保养及真空系统设计与改装。服务内容有：新品真空泵销售、二手真空泵销售、真空泵维修与保养服务、真空设备配件与各式耗材销售、真空系统设计与改装服务。 电镀事业部:专为台湾企业在中国大陆的精密连续电镀设备制造安装及耗材和解决方案专业供货商。公司承接镀白金（铂Pt），烧结铱（二氧化铱IrO2）等业务。24小时响应客户需求，提供优质产品和服务。 焊接加工服务部：专为国内外企业承接各种金属焊接加工或来料加工等服务。铝制品焊接（厚度1.0mm～10.0mm）、铁焊、铜焊（青火焊、红火焊）、硬焊等各种金属焊接。油压造型、锯切、抛光、钻孔、攻牙、研磨、板金加工（折板、打孔）等加工。电镀、电泳、电着、喷粉、真空镀、拉丝、烤漆、抛光、阳极处理等配套表面处理加式服务。 24小时响应客户需求，提供优质产品和服务。具体服务内容欢迎来电咨询了解。公司网站：www.v-real.cn商务电话：(+86)-0755-61961 283商务传真：(+86)-0755-6196 1283服务手机：136 918 20205通讯Q Q：338 9304 688电子邮箱：13691820205@126.com西部联络：广东省深圳市宝安区沙井益华电子城一楼B623A室邮政编号：518104
